概述

　　鈦合金TC4材料的組成為Ti-6Al-4V，屬于(a＋b)型鈦合金，具有良好的綜合力學機械性能。比強度大。TC4的強度sb=1.012MPa，密度g=4.4＊103，比強度sb/g=23.5，而合金鋼的比強度sb/g小于18。 鈦合金熱導率低。 鈦合金的熱導率為鐵的1/5、鋁的1/10，TC4的熱導率l=7.955W/m·K。線膨脹系數=7.89＊10-6℃，比熱=0.612cal/g·℃。鈦合金的彈性模量較低。TC4的彈性模量E=110GPa，約為鋼的1/2，故鈦合金加工時容易產生變形。 TC4(Ti-6Al-4V)和TA7(Ti-5Al-2.5Sn)鈦合金，采用兩種注入方案進行表面改性，試驗表明，鈦合金經離子注入后，提高了顯微硬度，顯著地降低了滑動摩擦系數，有效地提高了耐磨性.為探明其改性機理，對注入與未注入樣品進行了X射線光電子能譜(XPS)分析，獲得滿意的結果.

試件制備及注入條件1.1 試件制備

　　選航空用的TC4、TA7鈦合金，試件制成圓盤狀，尺寸為40＊5mm，所有試件表面均拋光至鏡面. 　　1.2 離子注入條件 　　兩種鈦合金都分別采用兩種注入方案： 　　① 在TC4及TA7鈦合金試件上濺射鍍Ti，Ti膜總厚度為540nm(5400A).在鍍Ti膜過程中，同時用(N＋ ＋N＋2)進行動態反沖注入，束流能量為50keV，束流密度為45μA/cm2，劑量為7＊1017/cm2，靶室真空度為1.33＊10-2Pa; 　　② 在①的基礎上，再注入C＋，束流能量為40keV，劑量為3＊1017/cm2.

硬度測量

　　用HXD-1000數字式顯微硬度計測量了注入與未注入試件的顯微硬度，測量載荷為4.9×10-2N，測量結果列于表1. 　　表1 顯微硬度測量結果 　　材料 表面狀態 顯微硬度/MPa 硬度提高倍數 　　未注入 2690 0 　　TC4 注入(N＋ ＋N＋2) 6399 1.38 　　注入(N＋ ＋N＋2)＋C＋ 3436 0.28 　　未注入 3133 0 　　TA7 注入(N＋ ＋N＋2) 4276 0.36 　　注入(N＋ ＋N＋2)＋C＋ 4073 0.30 　　從表1看出，離子注入后，試件的顯微硬度都有不同程度的提高，其中TC4鈦合金注入(N＋ ＋N＋2)混合束后硬度約提高1.4倍. ^[1]